![等离子体增强CVD系统 [型号:500℃±1℃/≤8*10(-6Pa PECVD-Ⅱ]](/d/file/2017/09c6672b8c265cce2fbe1dbce047d24e.jpg)
仪器名称：等离子体增强CVD系统
仪器型号：500℃±1℃/≤8*10(-6Pa PECVD-Ⅱ
仪器类型：电真空器件工艺实验设备
应用领域：物理学材料科学
所属单位：河北大学
仪器产地：中国
仪器价值：148.03万
仪器购买时间：2010-03-17
主要技术指标
500℃±1℃，真空≤8*10-6Pa。
主要功能/应用范围
制备硅基光伏材料和器件。
服务内容
暂无
服务的典型成果
暂无
对外开放共享规定
不共享
参考收费标准
暂无
共享仪器单位信息仪器联系人：
田晓东
联系电话：
13313238351
电子邮箱：
传 真：