化学气相沉积与高温热丝系统（PE/DC-CVD 400a）

主要技术指标

极限真空度8×10-5 Pa；系统真空检漏漏率5.0×10-7 Pa。L/S ；停泵关机12小时后真空度（Pa）≤10pa

主要功能/应用范围

沉积、热丝化学气相沉积及高温化学气相沉积四种沉积方法。可制备非晶硅、多晶硅、类金刚石等薄膜。

服务内容

气相生长Si、Ge、C及其化合物

服务的典型成果

支持了学院多项国家及省级科研基金项目成果

对外开放共享规定

按照学校制定的大型仪器设备对外开放共享管理办法进行对外开放。

参考收费标准

收费标准 ( 校内、校外 ) 气体费用自付 校外：100元/小时 校内：40元/小时 院内：10元/小时负责人： 潘成福 联系电话：86268475 E-mail:Panchnegfu462@sohu.com

仪器联系人：

潘成福

联系电话：

0311-86268475

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