微纳米薄膜表面形貌测量仪（KLA P-17）
时间：2018-01-16 11:46:41来源：网络
| 仪器名称 |
微纳米薄膜表面形貌测量仪
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仪器型号 |
KLA P-17
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| 所属单位 |
中国科学技术大学
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所属区域中心 |
合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
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| 制造商名称 |
MICRONANO CO.,LTD
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国别 |
美国
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| 购置时间 |
2015/12/07
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放置地点 |
科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室
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| 预约审核人 |
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操作人员 |
荣皓,微纳中心
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| 仪器工作状态 |
正常
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预约形式 |
必须预约
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| 预约类型 |
时间预约
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| 仪器大类 |
工艺实验设备
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仪器中类 |
工艺实验设备
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仪器小类 |
加工工艺实验设备
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| 仪器主要功能及描述 |
探针根据设定的扫描长度、速度和接触力在样品表面移动，由于表面有微小的峰谷使探针
在移动的同时还沿峰谷做上下运动，探针的运动情况反映了样品表面的高度起伏变化。主要用
于材料的结构及表面解析。
主要技术指标
扫描长度范围：200mm；垂直测量范围<1mm;探针压力：0.5-50mg；样品尺寸：最大6英寸；探针曲率半径：2um；重现性：4埃@1um标样
键合。
主要技术指标
键合模式：压焊45°、压焊90°、球焊；样品台可加热；金丝、铝丝直径Φ25um；显微镜：0.8-4倍变焦，15倍目镜；
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| 备注 |
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仪器收费信息
| 序号 |
样品分类 |
分析项目 |
前处理标准名称 |
分析项目标准名称 |
对外服务价格 |
| 1 |
片状、薄膜 |
表面形貌测试 |
用户指定 |
用户指定 |
150 |
