快速热处理系统（JetFirst200）
时间：2018-01-16 11:46:42来源：网络
| 仪器名称 |
快速热处理系统
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仪器型号 |
JetFirst200
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| 所属单位 |
中国科学技术大学
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所属区域中心 |
合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
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| 制造商名称 |
NANYANG JAYTECH(HK) TECHNOLOGY CO,LIMITE
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国别 |
法国
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| 购置时间 |
2014/09/28
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放置地点 |
科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室
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| 预约审核人 |
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操作人员 |
微纳中心,荣皓
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| 仪器工作状态 |
正常
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预约形式 |
必须预约
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| 预约类型 |
时间预约
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| 仪器大类 |
工艺实验设备
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仪器中类 |
工艺实验设备
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仪器小类 |
加工工艺实验设备
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| 仪器主要功能及描述 |
对材料进行快速升温降温处理，广泛用于离子注入后的杂质快速激活、超薄氧化物的快
速热氧化、硅化物及其热接触的形成等。
主要技术指标
分为常压模式和真空模式（<5Torr)；采用铂铑热电偶和光学高温计进行温度调控；最高温度：1200℃；典型的升温和降温速率：20-30℃/s；最大支持8英寸样品
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| 备注 |
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仪器收费信息
| 序号 |
样品分类 |
分析项目 |
前处理标准名称 |
分析项目标准名称 |
对外服务价格 |
| 1 |
块状、薄膜 |
热处理 |
用户指定 |
用户指定 |
200 |
