双束系统DualBeam 820 FIB/SEM Workstation(纳米区域中心）（FEI DB820）
时间：2018-01-23 15:14:37来源：网络
| 仪器名称 |
双束系统DualBeam 820 FIB/SEM Workstation(纳米区域中心）
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仪器型号 |
FEI DB820
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| 所属单位 |
电工研究所
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所属区域中心 |
北京信息电子技术大型仪器区域中心
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| 制造商名称 |
美国FEI
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国别 |
美国
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| 购置时间 |
2008/04/15
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放置地点 |
2号楼105
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| 预约审核人 |
李建国
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操作人员 |
李建国
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| 仪器工作状态 |
正常
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预约形式 |
必须预约
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| 预约类型 |
时间预约
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| 仪器大类 |
工艺实验设备
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仪器中类 |
电子与通信科学仪器设备
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仪器小类 |
加工工艺实验设备
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| 仪器主要功能及描述 |
高精度电子束测量和离子束刻蚀，型号：FEI DualBeam 820. FIB/SEM（离子束/电子束）;最精准分辨率高达7nm;可同时提供FIB聚焦离子束切割修改与SEM电子束影像观察
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| 备注 |
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仪器收费信息
| 序号 |
样品分类 |
分析项目 |
前处理标准名称 |
分析项目标准名称 |
对外服务价格 |
| 1 |
固体 |
扫描电子显微镜观察/聚焦离子束加工 |
用户指定 |
用户指定 |
0 |
| 2 |
结构分析 |
样品表面形态及结构分析 |
用户指定 |
用户指定 |
0 |
| 3 |
固体样品 |
电学测试 |
用户指定 |
用户指定 |
0 |
| 4 |
固态 |
刻蚀 |
用户指定 |
用户指定 |
0 |
