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电子束曝光系统(纳米区域中心)(C)(MEBES 4700S)

时间:2018-01-23 15:14:45来源:网络



仪器名称 电子束曝光系统(纳米区域中心)(C) 仪器型号 MEBES 4700S
所属单位 微电子研究所 所属区域中心 北京信息电子技术大型仪器区域中心
制造商名称 美国应用(AM)材料公司 国别 美国
购置时间 2003/12/01 放置地点 中国科学院微电子研究所
预约审核人 胡媛(审批),张建宏,王冠亚 操作人员 王冠亚,胡媛(审批),张建宏
仪器工作状态 正常 预约形式 可不预约
预约类型 项目预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 工艺实验设备 仪器小类 电子工艺实验设备
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固态 非测试类设备,由于设备实际使用情况不适用于时间预约的,暂用项目预约。 用户指定 用户指定 0



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