产品介绍
产品名称: 美国Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552
型号系列:SCI-552
品牌:Teledyne API
产地:美国
价格:**终成交价格需联系客服
订货号:SCI-552
Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552概述:
SCI-552是臭氧输送系统的控制器，能够为很多系统部件提供电气控制界面，包括：臭氧发生器、EV阀、质量流量计、背压控制器、TAPI452臭氧传感器、 TAPI 470 溶解臭氧传感器和水冷却器。SCI-552基于软硬件特点，提供了很多系统联锁功能，它灵活性高，允许用户通过前面板用户界面、MODBUS串行接口或各种离散型数字和模拟输入来控制整个系统。SCI-552能够支持两台臭氧发生器并提供两条独立的臭氧输出渠道。
Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552特征:
RS-232 MODBUS远程支持
控制2台臭氧发生器
与2台452和470臭氧测量仪器交互
控制4台质量流量控制器
控制2台背压控制器
控制2个EV阀
控制1台水冷却器
系统联锁输入
远程系统级别控制和状态输入/输出
Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552应用:
化学气相沉积(CVD)
原子层沉积(ALD)
氧化物生长
表面处理
灰化
粒子清洁
光刻胶去除
其他
Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552规格:
