臭氧输送系统MiniODS
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美国TeledyneAPI紧凑型高纯度臭氧输送系统Mini ODS
美国TeledyneAPI ODS系列高浓度高纯度臭氧输送系统为要求**的半导体应用而设计。这个高度可靠的臭氧输送系统适合需求不同流量的高浓度臭氧的应用中。该臭氧输送系统整合完全，操作简单，能够方便的与绝大多数半导体机台联动，插入即可使用。
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